從比阻抗值來推估超純水中的離子含量時，首先應注意比阻抗計的靈敏度。例如，當比阻抗值由 18.2 MΩ．cm 變?yōu)?18.0 MΩ．cm 時，這意味著溶液中產生相當于 0.36 ppb (μg/L) 的離子濃度變化。也就是，比阻抗計的靈敏度應為 ppb 層級。但是，離子層析與ICP-MS等高靈敏度分析儀器，其檢測結果卻會受到超純水中 ppt (ppb 的 1/1000) 層級的離子濃度影響。此外，除以比阻抗值來進行水質管理外，也應定期進行超純水系統(tǒng)的維護與離子交換樹脂桶及活性碳匣的更換。  
1996年，美國藥典（USP）在增加的第5修正補述中，對于相關水質的規(guī)定，使用未經溫度修正的比阻抗值，所以對不同溫度下，水質應有不同的比阻抗值加以檢測與訂定。因此，純水與超純水系統(tǒng)至少也需要有溫度校正值的顯示才可以。